С конструктивной точки зрения мишень в основном состоит из двух частей: «заготовки мишени» и «затыльника». Заготовка мишени представляет собой материал мишени, бомбардируемый высокоскоростным ионным пучком. Это основная часть мишени для распыления, которая обеспечивает контроль ориентации металла и зерен высокой чистоты. Задняя пластина в основном играет роль фиксации мишени распыления и включает в себя процесс сварки. В настоящее время распространенные материалы задней пластины мишени для распыления в основном включают материалы задней пластины трубки из бескислородной меди, медных сплавов, молибдена и нержавеющей стали.
1. Причины установки задней панели
Сборка мишени состоит из заготовки мишени с характеристиками составного напыления и объединительной платы, соединенной с заготовкой мишени сваркой. В процессе напыления мишенная сборка находится в жестких рабочих условиях. Одна сторона объединительной платы сильно охлаждается определенным давлением охлаждающей воды, в то время как одна сторона целевой заготовки находится в высокотемпературной вакуумной среде, поэтому на противоположных сторонах сборки мишени образуется огромная разница давлений. Кроме того, одна сторона мишени бомбардируется различными частицами в электрическом поле высокого напряжения и сильном магнитном поле, в результате чего выделяется много тепла.
В таких суровых условиях, чтобы обеспечить стабильность качества пленки и качества целевой сборки, качество целевой заготовки и объединительной платы, а также скорость сварки становятся все более требовательными, в противном случае легко привести к деформации и растрескиванию сборки мишени в горячих условиях, что ухудшает качество пленки и даже приводит к повреждению основы напыления.
2. Материалы изготовления объединительной платы.
Опорная пластина в основном используется для фиксации материала мишени для распыления и должна иметь хорошую электро- и теплопроводность. В процессе нанесения покрытия магнетронным распылением мишень должна выдерживать как давление охлаждающей воды сзади, так и отрицательное давление вакуума спереди. Объединительные платы из меди и медных сплавов часто выбираются в качестве целевых плинтусов, поскольку они обладают следующими преимуществами:
(1) Высокая теплопроводность: она может эффективно передавать тепло, выделяемое на поверхности мишени во время процесса распыления, в систему охлаждения. Это помогает поддерживать стабильную температуру мишени и предотвращает растрескивание мишени или ухудшение характеристик из-за перегрева.
(2)Обладает высокой электропроводностью: может повысить эффективность проводимости тока в процессе распыления. Это помогает снизить потери сопротивления между мишенью и системой магнетронного распыления, тем самым повышая эффективность распыления.
(3) Высокая механическая прочность: может обеспечить стабильную поддержку. Это помогает гарантировать, что мишень не растрескается из-за вибрации или напряжения во время процесса распыления.
(4) Равномерное распыление: медная задняя пластина может улучшить распределение электромагнитного поля мишени, тем самым достигая более равномерного распыления и улучшая однородность пленки.
(5) Продлите срок службы мишени: благодаря высокой теплопроводности и электропроводности медной опорной пластины можно снизить рабочую температуру и потерю сопротивления мишени, тем самым замедляя износ мишени и продлевая ее срок службы. срок службы.
3. Процесс привязки объединительной платы
(1)Предварительно обработайте поверхность мишени и заднюю мишень перед связыванием;
(2) Закрепите заднюю мишень на нагревательном столе, поместите мишень на заднюю пластину и нагрейте ее до температуры переплета;
(3) Металлизируйте мишень и заднюю мишень и припаяйте мишень к медной задней пластине;
(4) Соедините мишень и заднюю мишень, поместите противовес на поверхность мишени вдали от медной опорной пластины и снимите противовес после того, как мишень остынет;
(5)Охлаждение постобработки.
