Мишень для распыления титана

FANMETAL поставляет мишень для распыления из чистого титана 99,999%. Чистота от 99,5% до 99,9999%. В настоящее время для 4-мегабитной СБИС требуется, чтобы чистота титана достигала 4N5 (99,995 процента) ~ 5N (99,999 процента), в то время как для 16-мегабитной СБИС третьего поколения требуется, чтобы чистота титана достигала 6N (99,9999 процентов).

Мы также предоставляем металлическую мишень и испаряемый материал высокой чистоты 99,9999%, мишени из драгоценных металлов (Au, Ag, Pt), услуги по склеиванию мишеней, вкладыши для тиглей (медь, молибден, вольфрам и т. д.)

Изображение мишени для распыления титана:

Основные области применения мишени для распыления титана включают:

1. Биологические материалы

Титан — это немагнитный-металл, который не намагничивается в сильном магнитном поле. Он имеет хорошую совместимость с человеческим организмом и не имеет токсических побочных эффектов. Он может быть использован для изготовления человеческих имплантатов. Как правило, медицинские титановые материалы не достигают уровня титана высокой -чистоты, но, учитывая растворение примесей в титане, чистота титана для имплантатов должна быть максимально высокой. В литературе также упоминается, что титановая проволока высокой-чистоты может использоваться в качестве биологического обвязочного материала. Кроме того, титановая инъекционная игла со встроенным катетером также соответствует уровню высокой -чистоты титана.

2. Отделочные материалы

Титан высокой чистоты-обладает отличной атмосферной коррозионной стойкостью и не меняет цвет после длительного-использования в атмосфере, обеспечивая первоначальный цвет титана. Таким образом, титан высокой-чистоты также можно использовать в качестве строительных отделочных материалов. Кроме того, в последние годы некоторые -высококачественные украшения и некоторые предметы одежды, такие как браслеты, часы и оправы для очков, изготавливаются из титана, обладающего характеристиками коррозионной стойкости, обесцвечивания, долговечности{{4} }временное сохранение хорошего блеска и отсутствие-сенсибилизации при контакте с кожей человека. Чистота титана, используемого в некоторых украшениях, достигла уровня 5N.

3. Аспирационный материал

Титан, как очень активный металл с химическими свойствами, может реагировать со многими элементами и соединениями при высоких температурах. Титан высокой-чистоты обладает сильной адсорбцией активных газов (таких как O2, N2, CO, CO2 и водяной пар при температуре выше 650 градусов). Пленка Ti, напыленная на стенку насоса, может образовывать поверхность с высокой адсорбционной способностью. Благодаря этому свойству Ti широко используется в качестве газопоглотителя в системах откачки сверх-высокого вакуума. При использовании в сублимационных насосах, ионно-распыляющих насосах и т. д. предельное рабочее давление ионно-распыляющего насоса может составлять всего 10-9 Па.

4. Электронные информационные материалы

В последние годы, с быстрым развитием высокотехнологичных областей, таких как полупроводниковые технологии и информационные технологии, количество высокочистого титана, используемого в мишенях для распыления (см. рис. 1), интегральных схемах, DRAM и плоскопанельных дисплеев увеличилось. Требования к чистоте материалов становятся все выше и выше. В полупроводниковой промышленности СБИС соединения титана-кремния, соединения титана-азота, соединения вольфрама-титана и т. д. используются в качестве диффузионных барьеров и проводниковых материалов для управляющих электродов. Для изготовления этих материалов используется метод напыления, и титановая мишень, используемая в методе напыления, требует высокой чистоты, особенно для элементов щелочных металлов и радиоактивных элементов.

В последние годы в соответствующем оборудовании для распыления также начали использовать высокочистый-титан той же чистоты, что и титановая мишень для распыления.

горячая этикетка : Мишень для распыления титана, поставщики, производители, фабрика, индивидуальные, оптовая торговля, цена, предложение, продажа