Мишени для распыления металла в основном используются в электронной и информационной промышленности, например, в интегральных схемах, хранилищах информации, ЖК-экранах, лазерных запоминающих устройствах, электронных устройствах управления и т. д. Они также могут широко использоваться в области покрытия стекла, износостойких инструментов. обрабатывающая промышленность и высокотемпературная обработка. , высококачественные декоративные материалы и другие отрасли. FANMETAL имеет многолетний опыт производства изделий из цветных металлов, а также современное технологическое оборудование. Он может предоставлять клиентам в стране и за рубежом высококачественную и экономичную целевую продукцию из металлов или сплавов, такую какникелевые мишени, хромовые мишени, молибденовые мишени, вольфрамовые мишени,Титан-алюминиевые мишени для распыления,и т. д.
1. Чистота
Для всех металлов чистота является одним из основных показателей эффективности целевого материала. Чистота целевого материала оказывает большое влияние на характеристики пленки. Однако в зависимости от конкретного прикладного оборудования требования к чистоте целевого материала также различаются. Например, в высокоточном электронном оборудовании требуются мишени для покрытий высокой чистоты.
2. Содержание примесей
После серии целевых процессов основными источниками загрязнения осаждаемых пленок являются примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и пары воды в порах. Поскольку их использование различно, мишени для разных целей также предъявляют разные требования к разному содержанию примесей. Например, современные мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниках, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
3.Плотность
В целевом технологическом процессе, чтобы уменьшить поры в целевом твердом веществе и улучшить характеристики напыленной пленки, обычно требуется, чтобы целевой материал имел более высокую плотность. Потому что основная характеристическая плотность мишени оказывает большое влияние на скорость распыления и влияет на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше целевая плотность, тем лучше характеристики пленки.
4. Размер зерна и гранулометрический состав.
Обычно материал мишени имеет поликристаллическую структуру, а размер зерен может составлять от микронов до миллиметров. Для одного и того же материала мишени скорость распыления мишени с мелкими зернами выше, чем у мишени с крупными зернами; в то время как мишень с меньшей разницей в размерах зерен (равномерное распределение) будет иметь более равномерное распределение толщины пленки, нанесенной методом распыления.
