Покрытие магнетронным напылением представляет собой новый тип физического метода нанесения покрытия из паровой фазы, в котором используется система электронной пушки для испускания и фокусировки электронов на покрываемом материале, так что распыляемые атомы следуют принципу преобразования импульса, так что материал имеет более высокие механические свойства. характеристики. Материал, подлежащий покрытию, называется мишенью для распыления, которая в основном включает металлы, сплавы и керамические соединения. FANMETAL может предоставить клиентам высококачественные металлические мишени, такие какМишень для распыления чистого хрома, Мишень для распыления золота,Мишень для распыления титана и алюминияи мишень для распыления меди. Пожалуйста, отправьте нам электронное письмо, чтобы сообщить нам о ваших потребностях.
1. Чистота
Чистота является одним из основных показателей эффективности мишени, поскольку чистота мишени оказывает большое влияние на характеристики пленки. Однако в практических приложениях требования к чистоте мишени также различаются. Например, с быстрым развитием микроэлектронной промышленности размер кремниевых пластин вырос с 6 дюймов, 8 дюймов до 12 дюймов, а ширина проводки уменьшилась с 0,5 мкм до 0. .25 мкм, 0.18 мкм или даже 0.13 мкм. Предыдущая целевая чистота составляла 99,995 %. }} Для линий .18 мкм требуется 99,999% или даже 99,9999% целевой чистоты.
2. Содержание примесей
Примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и влага в порах являются основными источниками загрязнения осаждаемой пленки. Целевые материалы разного назначения предъявляют разные требования к различному содержанию примесей. Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
3. Плотность
Чтобы уменьшить поры в целевом твердом теле и улучшить характеристики напыленной пленки, обычно требуется, чтобы мишень имела более высокую плотность. Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но и на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше плотность мишени, тем лучше производительность пленки. Кроме того, увеличение плотности и прочности мишени делает мишень более способной выдерживать термическую нагрузку в процессе напыления. Плотность также является одним из ключевых показателей эффективности цели.
4. Размер зерна и гранулометрический состав
Обычно целевой материал представляет собой поликристаллическую структуру, а размер зерен может варьироваться от микрон до миллиметров. Для одного и того же материала мишени скорость распыления мишени с мелкими зернами выше, чем у мишени с крупными зернами; а распределение по толщине пленки, нанесенной напылением, с меньшей разницей в размерах зерен (равномерное распределение) является более равномерным.
