Металлические мишени состоят из одного металла или металлического сплава, который был специально обработан и очищен для удовлетворения требований высокой чистоты и специфической микроструктуры. Обычные металлические цели включают медь, алюминий, серебро, титан и их сплавы. Металлические мишени выбираются на основе их уникальных физических и химических свойств для оптимизации производительности и эффективности таких процессов, как ионная имплантация и осаждение тонких пленок. Наша компания может предоставитьМишень для распыления титана и титана, Мишени для распыления из циркония 99,95%и хромовые мишени и другие металлические мишени, если вам нужно, напишите нам.
Керамические мишени состоят из неметаллических соединений высокой чистоты, в том числе оксидов, силикатов, нитридов и т. д. Эти мишени готовятся методами высокотемпературного спекания для формирования твердых материалов со сложными химическими и физическими свойствами. Их уникальный состав обеспечивает им незаменимое место в высокотехнологичных приложениях, особенно в производстве полупроводников, оптоэлектронных материалов и технологии тонких пленок.
1. Стоимость и сложность приготовления
Изготовление керамических мишеней затруднено не только из-за необходимости высокотемпературного процесса спекания, но и из-за необходимости контролировать их чистоту и микроструктуру для обеспечения характеристик конечного продукта. Напротив, процесс выплавки и обработки металлических мишеней относительно прост, отличается высокой пластичностью, легкостью формования и обработки.
С точки зрения стоимости металлические мишени обычно дешевле керамических из-за относительно простого процесса извлечения, обработки и подготовки металла. Однако приготовление керамических мишеней требует более сложного процесса.
2. Физико-химические свойства.
Благодаря своей уникальной химической структуре керамические мишени обычно имеют более высокую твердость и температуру плавления, что делает их более стабильными при высоких температурах и пригодными для процессов высокотемпературного осаждения пленок. Особенно в условиях высоких температур или агрессивных сред. Они трудно вступают в реакцию с другими элементами, сохраняя чистоту и стабильность материала.
Металлические мишени подходят для различных требований подготовки сложной формы, особенно с точки зрения тепло- и электропроводности, значительно превосходящей керамические мишени, что делает их предпочтительными в приложениях, требующих хорошего управления температурой и электрических свойств. Однако при определенных условиях он может окисляться или подвергаться коррозии.
3. Область применения
Металлические мишени широко используются в ситуациях, когда требуется хорошая проводимость и теплопроводность, например, при изготовлении проводящих пленок, пленок зеркального отражения и производстве магнитных материалов. Их превосходная пластичность также дает им преимущество при изготовлении мишеней сложной формы.
Благодаря своей высокой чистоте, химической стабильности и высокой температуре плавления керамические мишени находят уникальные применения в производстве полупроводников, высокотемпературном осаждении тонких пленок и подготовке фотоэлектрических материалов. Для этих применений часто требуются материалы с чрезвычайно высокими эксплуатационными характеристиками.
