1. Чистота
Чистота титановой мишени оказывает большое влияние на свойства напыленных пленок. Чем выше чистота мишени, тем меньше частиц примесных элементов в напыленной пленке и тем лучше характеристики пленки (например, коррозионная стойкость, оптические и электрические свойства). В практических приложениях требования к чистоте титановых мишеней различного назначения различны. . Например, требования к чистоте мишеней для обычных декоративных покрытий не являются высокими, тогда как мишени для интегральных схем, корпусов дисплеев и других областей предъявляют гораздо более высокие требования к чистоте, обычно около 99,999 процентов или выше.
2. Средний размер зерна
Обычно титановая мишень имеет поликристаллическую структуру, а размер зерна может составлять от микрон до миллиметров. Скорость распыления мелкозернистой мишени выше, чем у крупнозернистой. Распределение толщины пленки, нанесенной распылением, также является относительно равномерным. Средний размер зерна титановых мишеней для интегральных схем обычно должен быть в пределах 30 мкм, а средний размер зерна ультрамелкозернистых титановых мишеней - менее 10 мкм.
3. Ориентация кристаллов
Титан имеет плотноупакованную гексагональную структуру. При распылении атомы мишени титана легко распыляются вдоль направления гексагонального расположения атомов. Следовательно, чтобы достичь наибольшей скорости распыления, можно увеличить скорость распыления за счет изменения кристаллической структуры мишени. скорость распыления. Направление кристаллизации титановой мишени также оказывает большое влияние на однородность толщины напыленного слоя пленки, а размер пленки плоского дисплея и декоративного покрытия относительно толстый, поэтому требования к ориентации зерен соответствующей титановой мишени следующие: относительно низко.
4. Геометрия и размер
В основном это отражается на точности и качестве обработки, таких как размер обработки, плоскостность поверхности, шероховатость и т. д. Небольшая толщина повлияет на срок службы мишени; слишком шероховатая уплотнительная поверхность и уплотнительная канавка вызовут проблемы с вакуумом после установки мишени; придание шероховатости распыляемой поверхности мишени может привести к тому, что поверхность мишени будет заполнена выступающими кончиками, под действием эффекта кончика потенциал этих приподнятых кончиков будет значительно увеличен, тем самым разрушая диэлектрический разряд. Однако слишком большой выступ отрицательно влияет на качество и стабильность напыления.
Наша компания может предоставить титановые сплавы, такие какТитан-алюминиевые мишени для распыленияиМишень для распыления титана и титана, а также титановые мишени различной чистоты и формы, а также принимаем индивидуальные услуги. При необходимости свяжитесь с нами по электронной почте.
